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光学元件、分析装置、分析方法及电子设备制造方法及图纸
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文档序号:10363194
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本发明涉及光学元件、分析装置、分析方法及电子设备。提供基于由光照射激励的表面等离子体的光的增强度大的光学元件。本发明的光学元件(100)包括以第一方向为厚度方向的金属层(10),沿第一方向与金属层(10)分离设置的金属粒子(30),以及使金...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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