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本发明涉及一种膜法氦气提纯装置系统及工艺：收集得到的混合氦气经第一预处理器的预处理，达到设定的入膜气体要求后，进入第一中空纤维膜进行分离；第一中空纤维膜分离得到的非渗透气回收或排空，分离得到的渗透气进入第二预处理器；第一中空纤维膜的渗透气经...
该专利属于上海精腾新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精腾新能源科技有限公司授权不得商用。

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