下载用于校准激光装置的测试装置的技术资料

文档序号:10356225

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一种用于对提供脉冲激光辐射的激光装置(12)的脉冲能量进行校准的测试装置,所述测试装置包括具有多个测量探针(30)的测量头(20)。所述测试装置按照下述方式使用:利用激光辐射测试表面(28处)上形成多个测试烧蚀,所述多个测试烧蚀的排布与所述...
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