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一种多晶硅铸锭炉固液界面测量装置制造方法及图纸
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下载一种多晶硅铸锭炉固液界面测量装置的技术资料
文档序号:10354078
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本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉固液界面测量装置,包括测量脚、石英棒、压力传感器、位移传感器、环节、电机、行程开关、滚珠丝杠、驱动器、控制器和显示屏;所述电机与滚珠丝杠连接,带动滚珠丝杠做正反向旋转,所述滚珠丝杠上设有驱动器,所述驱动器与压...
该专利属于常州兆晶光能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州兆晶光能有限公司授权不得商用。
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