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一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器，涉及微机电系统（MEMS）传感器和真空传感器制造领域，包括上极板、下极板、中间绝缘层、真空腔以及上下极板上的电引线焊盘，真空腔是上极板与中间绝缘层间、或者上极板、中间绝缘层与下极板间形成的密封腔，真...
该专利属于江苏森博传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏森博传感技术有限公司授权不得商用。

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