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本发明公开了一种全透型铋基焦绿石薄膜压控变容管的制备方法，首先采用固相烧结法制备铋基焦绿石靶材，以具有AZO薄膜作为底电极层的导电玻璃衬底，利用磁控溅射沉积技术，使用Ar和O2作为溅射气体，沉积得到铋基焦绿石薄膜，再于氧气气氛中进行后退火处...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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