下载一种磁电阻Z轴梯度传感器芯片的技术资料

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本发明公开了一种磁电阻Z轴梯度传感器芯片,用于探测磁性介质所产生的Z轴磁场分量在XY平面内梯度,从而对磁性介质进行磁成像,其包括Si衬底、分隔Lg距离的两个或两组包含多个通量引导器的集合,以及电互连的磁电阻传感单元排列,磁电阻传感单元位于S...
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