温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种集成光栅元件系统包括:形成于光电子基板层上的第一透明层,该光电子基板层包括至少两个光电子组件;布置在该第一透明层上的第一光栅层,该第一光栅层包括形成于该第一光栅层中的、与光电子组件的有效区对准的至少两个亚波长光栅元件;以及第二光栅层,与...该专利属于惠普发展公司,有限责任合伙企业所有,仅供学习研究参考,未经过惠普发展公司,有限责任合伙企业授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种集成光栅元件系统包括:形成于光电子基板层上的第一透明层,该光电子基板层包括至少两个光电子组件;布置在该第一透明层上的第一光栅层,该第一光栅层包括形成于该第一光栅层中的、与光电子组件的有效区对准的至少两个亚波长光栅元件;以及第二光栅层,与...