下载集成亚波长光栅系统的技术资料

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一种集成光栅元件系统包括:形成于光电子基板层上的第一透明层,该光电子基板层包括至少两个光电子组件;布置在该第一透明层上的第一光栅层,该第一光栅层包括形成于该第一光栅层中的、与光电子组件的有效区对准的至少两个亚波长光栅元件;以及第二光栅层,与...
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