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本实用新型公开了一种基于光学干涉法的甲烷浓度传感结构，包括V型梁、半导体激光器和第一全反射镜以及第二全反射镜和光电二极管；第一全反射镜和半导体激光器之间设置分光板，第一全反射镜安装在V型梁的中部；V型梁包括第一变形层、第二变形层、加热层和设...
该专利属于西安科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安科技大学授权不得商用。

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