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质子注入(16)之后，通过炉退火处理形成氢致施主，从而形成n型电场终止层(3)，进一步通过激光退火处理减少生成于质子通过区域(14)的无序，从而形成n型无序减少区域(18)。如此，本发明能够提供形成基于质子注入(16)的n型电场终止层(3)...
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