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本实用新型属于半导体生产领域，具体涉及一种旋涂机。一种旋涂机，包括旋转台以及能移动设置于所述旋转台上方的供胶管道，所述供胶管道的自由端能对应设置于所述旋转台的中心、另一端连接供胶单元，所述供胶管道的自由端开设有中心滴胶口，其中，所述供胶管道...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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