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本发明涉及一种简化的用于在非刚性待测样本上进行泄漏检测的方法，所述方法包括步骤：将所述待测样本(12)放置到一薄膜腔(10)中；降低所述待测样本(12)外部所述薄膜腔(10)中的压力，以及基于所述薄膜腔(10)的薄膜(14，16)的空间变化...
该专利属于英福康有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过英福康有限责任公司授权不得商用。

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