下载一种流强可调的真空弧离子源的技术资料

文档序号:10339608

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本实用新型公开了一种流强可调的真空弧离子源,包括阳极(1)、阴极(4)、触发极(2)、阴极-触发绝缘体(3)、主弧电源(6),所述阴极(4)和阳极(1)均连接到主弧电源(6)上,且各连接主弧电源(6)的一个电极,所述触发极(2)与阴极(4)...
该专利属于中国工程物理研究院流体物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院流体物理研究所授权不得商用。

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