下载流化床反应器及其用于制备粒状多晶硅和三氯氢硅的方法的技术资料

文档序号:10338672

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本发明公开了一种流化床反应器及其用于制备粒状多晶硅和三氯氢硅的方法,在流化床反应器中通过正负电极且电流流经硅颗粒,利用电阻加热方式对反应器内的硅颗粒进行供热。采用本发明的流化床反应器,能够提高所得产品的纯度,降低成本,允许大直径反应器的工业...
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