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本发明有关于一种用于镀膜制程的气体释出装置，包含有由下而上依序堆叠的一下板、一第二中间板、一第一中间板，以及一上板，上板具有一进气孔，下板具有多数排气孔，上板与第一中间板之间藉由一分配槽及一顶面凹槽而连通、第一中间板与第二中间板之间藉由至少...
该专利属于生阳新材料科技（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过生阳新材料科技（宁波）有限公司授权不得商用。

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