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一种磁控溅射CdTe多晶薄膜太阳能电池的制备方法技术
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文档序号:10334852
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一种磁控溅射CdTe多晶薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:在基底的透明导电多晶薄膜上生长CdS多晶薄膜,停止加热,然后在真空条件下对生长完成后的CdS多晶薄膜进行降温、再升温或者加热保持、或再升温降温的过程,多晶薄膜多晶薄膜再在所制备的...
该专利属于中国科学院电工研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。
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