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旋转阴极磁棒及具有旋转阴极磁棒的旋转靶材，属于溅射镀膜的关键工艺装备。本发明的旋转阴极磁棒包括磁棒支架及分布在其表面的磁铁，所述磁铁包括设置在所述磁棒支架端部区的均有按照至少一种排列曲率分布的第一组磁铁；以及设置在所述磁棒支架中部区的第二组...
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