下载一种使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈的技术资料

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一种使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈,涉及高频线圈技术领域,本发明通过在高频线圈(2)的中部设置拉制孔(5),在所述拉制孔向外呈放射状设置导流槽(4),可以迫使电流往高频线圈拉制孔以外的地方分流,进而克服电流走近路造成线圈中部温度高外围温度...
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