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真空系统兼容的同轴精密线性推进装置制造方法及图纸
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下载真空系统兼容的同轴精密线性推进装置的技术资料
文档序号:10332764
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一种真空系统兼容的同轴精密线性推进装置,其特征在于,包括:一波纹管和一波纹管的同轴线性驱动组件;该波纹管的同轴线性驱动组件包含一左旋驱动件、一连接件、以及一右旋驱动件,该连接件的两端分别连接该左旋驱动件以及该右旋驱动件,该左旋驱动件、该连接...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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