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提供了一种形成纳米晶的方法和一种制造包括其中具有纳米晶的金属化合物薄膜的有机发光显示装置的方法。形成纳米晶的方法包括：在第一压力下通过使用反应溅射工序形成金属化合物薄膜；以及在低于第一压力的第二压力下通过使用反应溅射工序在金属化合物薄膜中形...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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