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一种用于区熔炉的载料装置及其自动载料方法制造方法及图纸
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下载一种用于区熔炉的载料装置及其自动载料方法的技术资料
文档序号:10326133
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本发明涉及非金属晶体的制造设备及其使用方法,旨在提供一种用于区熔炉的载料装置及其自动载料方法。该载料装置包括活动料盘、上固定夹料盘、下固定夹料盘、固定杆、旋转卡块、旋转轴、卡头、摄像镜头、机械臂、图像处理系统和用于夹持多晶料的多晶料夹头。利...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
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