下载一种润滑薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:10325554

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本发明公开了一种润滑薄膜的制备方法,包括:对基底表面上的薄膜层进行预处理;旋涂光刻胶,加热后紫外固化形成中间层;形成紫外光固化纳米压印胶层;将软质压印模板压入紫外光固化纳米压印胶层,在紫外灯下曝光;刻蚀去除未曝光处残余的紫外光固化纳米压印胶...
该专利属于苏州锦元纳米科技有限公司;南京丰强纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州锦元纳米科技有限公司;南京丰强纳米科技有限公司授权不得商用。

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