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本实用新型提供一种MOM电容结构，包括多个电容单元，所述电容单元为双螺旋式电容结构。本实用新型的MOM电容结构不仅存在X方向上的电容，同时最大限度地增加了Y、Z方向的电容，从而增加了电容的密度，增大了电容值。...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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