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用于气体的脉冲进样装置、脉冲进样方法及其用途制造方法及图纸
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下载用于气体的脉冲进样装置、脉冲进样方法及其用途的技术资料
文档序号:10318004
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本发明涉及用于气体的脉冲进样装置、利用该装置的脉冲进样方法及其用途。更具体地,用于气体的脉冲进样装置包括载气气源和至少一个反应气气源,所述载气气源和所述至少一个反应气气源分别经由减压阀和质量流量控制器连接至具有采样环的六通阀的不同进口,并且...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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