温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种湿法刻蚀系统，包括：晶圆卡槽、药液槽、机械手、控制装置、位置传感器、以及转动装置。其中，当位置传感器检测到晶圆完全浸没于药液中和/或检测晶圆与转动装置相接触时，向控制装置发送信号，控制装置接收到位置传感器发送的信号后，控制转...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。