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一种基于柔顺机构的3维微力传感器的敏感元件制造技术
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下载一种基于柔顺机构的3维微力传感器的敏感元件的技术资料
文档序号:10316364
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本发明公开了一种用于微力测量的传感器敏感元件,包括具有对称结构的柔顺UPU支链和球形结构组成,支链采用2对对称的第一正圆形柔性铰链和第二正圆形柔性铰链实现U副,2对对称的悬臂梁并联实现移动副,1对切口方向相反的柔性铰链实现输入端的U运动副。...
该专利属于江西理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过江西理工大学授权不得商用。
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