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放电离子化电流检测器制造技术
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文档序号:10315128
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本实用新型提供可精确计算管柱内试样气体的流量或者线速度的放电离子化电流检测器。设置有测定检测器主体(1)内的压力的压力传感器(7)。由于通过压力传感器(7)可正确地检测出检测器主体(1)内的压力,所以可以利用所测定的检测器主体(1)内的压力...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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