温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于半导体光学光刻制造技术领域，主要涉及工件台的磁预紧系统，具体涉及低发热的永磁部件。所述磁预紧系统中低发热的永磁部件包括若干硅钢片叠加形成的硅钢片组、承载硅钢片组的安装基座和涂覆在硅钢片组上表面的涂层，所述涂层为工件台的气浮运动面。...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。