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一种医用材料表面改性系统及其方法属于材料表面改性技术领域,其特征在于由可供选择使用的气源子系统、等离子体激励电压及频率、上下电极间距均能随工作气体可调的放电工作舱子系统以及基于微处理器的上、下电极间距、载物台送进、等离子体激励电压、频率控制...该专利属于北京振戎融通通信技术有限公司;清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京振戎融通通信技术有限公司;清华大学授权不得商用。
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一种医用材料表面改性系统及其方法属于材料表面改性技术领域,其特征在于由可供选择使用的气源子系统、等离子体激励电压及频率、上下电极间距均能随工作气体可调的放电工作舱子系统以及基于微处理器的上、下电极间距、载物台送进、等离子体激励电压、频率控制...