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一种晶圆级铜柱凸块结构的金属帽的形成方法技术
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文档序号:10296085
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本发明公开了一种晶圆级铜柱凸块结构的金属帽的形成方法,属于半导体封装技术领域。其形成方法如下:提供一晶圆级的芯片基体;在芯片基体的上表面沉积一介电层,并在芯片电极的正上方开设介电层开口,并在介电层开口的正上方通过光刻工艺开设光刻胶开口;通过...
该专利属于江阴长电先进封装有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴长电先进封装有限公司授权不得商用。
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