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一种阴极电弧靶冷却装置制造方法及图纸
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文档序号:10295368
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一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道,靶材嵌在靶座表面上;所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开,铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间,靶材与铜板相接触;所述冷却水道内通过液体时,铜板受液体压力向靶材凸出。本实用新...
该专利属于宜昌后皇真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜昌后皇真空科技有限公司授权不得商用。
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