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对样本进行检测检测方法和装置制造方法及图纸
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下载对样本进行检测检测方法和装置的技术资料
文档序号:10291295
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本发明提供一种对含有至少一个待测对象的样本进行检测的方法和装置。所述方法包括:利用具有不同位置的光源的检测装置使所述不同位置的光源依次照射所述样本,获取所述待测对象在不同位置的光源的照射下在一个投影面上产生的多个投影;将每个待测对象的多个投...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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