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压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器技术
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文档序号:10286238
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本发明涉及压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器。所述压电振动元件小型且由于过度蚀刻而导致的、自预定的频率的频率偏差较少。压电基板(10)具备:多个棒状的振动臂(15a、15b);基部(12),其对各个振动臂(15a、15b)的一侧...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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