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一种电场检测装置制造方法及图纸
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文档序号:10282016
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本发明提供一种电场检测装置,至少包括:承载本体;设置于所述承载本体上的参考电极层;设置于所述承载本体上且位于所述参考电极层上方的至少三层感应电极层;所述感应电极层包括至少四个均匀分布的感应电极,每一个感应电极分别与所述参考电极层形成一个独立...
该专利属于中国科学院上海高等研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海高等研究院授权不得商用。
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