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纳米级冷却的纳米等离子体激元装置制造方法及图纸
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下载纳米级冷却的纳米等离子体激元装置的技术资料
文档序号:10278869
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本发明提供一种纳米等离子体激元装置,其包括:具有加热侧和冷却侧的纳米等离子体激元加热层,该加热层包括多个局部能量接收位点;以及邻接于冷却侧的冷却结构,该冷却结构包括从加热层除热的纳米级结构。...
该专利属于萨班哲大学;安兹耶因大学所有,仅供学习研究参考,未经过萨班哲大学;安兹耶因大学授权不得商用。
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