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一种LED外延层生长方法及制得的LED外延层技术
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文档序号:10275177
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本发明提供了一种LED外延层生长方法及制得的LED外延层,生长方法中的生长P型GaN层步骤为:在温度930-950℃,压力200-600mbar的反应室内,重复间隔性地通入A、B两组原料,直至P型GaN层的厚度为100-300nm;A组原料...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。
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