下载类单晶硅锭制备方法及切割制备类单晶硅片方法的技术资料

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一种类单晶硅锭制备方法,其特征在于,至少包括以下步骤:在坩埚底部铺设单晶硅籽晶,形成籽晶层,所述单晶硅籽晶为<110>晶相;在所述籽晶层上方设置熔融状态的硅料,并控制所述籽晶层不被完全融化;以及控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩...
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