下载晶圆级铜柱微凸点结构及制作方法的技术资料

文档序号:10261719

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本发明涉及一种晶圆级铜柱微凸点结构及制作方法,包括晶圆、多个导电柱体和介质层,导电柱体包括聚合物核心、电镀种子层和金属铜层,导电柱体上表面露出介质层上表面、并设置凸点,导电柱体下表面与晶圆上的焊盘连接。所述晶圆级铜柱微凸点结构的制作方法,包...
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