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基板输送机构以及偏振膜的贴合装置中的基板支撑装置制造方法及图纸
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下载基板输送机构以及偏振膜的贴合装置中的基板支撑装置的技术资料
文档序号:10256924
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一种基板输送机构以及偏振膜的贴合装置中的基板支撑装置能以简单结构可靠地夹持支撑基板并能解除翻转后的夹持支撑。该基板支撑装置配设在与进行基板翻转动作的基板翻转部连接的构件上,利用第1支撑构件和第2支撑构件的相对移动,由第1基板输送机构输送来的...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
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