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本实用新型公开了一种曝光设备中的透镜冷却装置，包括：至少一个透镜；至少部分包覆所述至少一个透镜的冷却套，所述冷却套为中空结构，包括进口和出口，在所述中空结构中具有用于冷却的流体；制冷装置，与所述冷却套连接，用于将对液体进行制冷，并将制冷之后...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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