下载电磁场近场扫描装置与扫描方法的技术资料

文档序号:10252575

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本发明提供一种电磁场近场扫描装置与扫描方法,扫描装置结构简单,通过探头实现对待测物品的电磁场近场数据的准确采集,通过空间移动平台和计算机协调工作实现对探头位置的精准控制,通过显微摄像装置精准监测探头与待测物品之间的距离,从而能够精准获得待测...
该专利属于工业和信息化部电子第五研究所所有,仅供学习研究参考,未经过工业和信息化部电子第五研究所授权不得商用。

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