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一种等离子反应腔，包括：一个射频电源输出射频功率到所述等离子反应腔；一个等离子状态检测装置检测所述等离子反应腔内光学信号；一个脉冲信号发生器产生脉冲信号并输出到所述射频电源；其特征在于，所述等离子状态检测装置接收所述脉冲信号并处理所述检测到...
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