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一种具有石墨烯的互连线及其制备方法技术
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文档序号:10250037
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本发明公开的具有石墨烯的互连线,在绝缘基板上自下而上依次有石墨烯层和铜导电层。其制备步骤包括:将石墨烯转移到经清洗的绝缘基板上,使用光刻的方法对石墨烯进行图形化,然后通过电镀的方法在该石墨烯上形成铜导电层。本发明的互连线以石墨烯作为导电层的...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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