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一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试方法及装置制造方法及图纸
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下载一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试方法及装置的技术资料
文档序号:10247077
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本发明公开一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试方法及装置,测试平台的内部埋置多个热流传感器,测试平台的上表面上置放待测样品衬底,样品衬底的上表面上置放待测薄膜样品,加热头位于待测薄膜表面处,多个热流传感器在测试平台的水平方向上呈一字型等...
该专利属于江苏大学所有,仅供学习研究参考,未经过江苏大学授权不得商用。
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