下载具有密封膜片的智能定位器的技术资料

文档序号:10244205

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本实用新型公开了一种具有密封膜片的智能定位器,包括压电阀、设置于压电阀一侧的压电阀盖、设置于压电阀另一侧的压电阀主体以及设置于压电阀主体另一侧的气路模块,压电阀盖与压电阀之间设有胶垫,胶垫设有与压电阀的排气孔相通的导气槽,胶垫与压电阀相贴紧...
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