下载固化性组合物、涂布用组合物、固化膜、激光加工方法及多层布线结构体的制造方法的技术资料

文档序号:10242559

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本发明提供可获得介电常数低、吸水性低且可进行激光加工的固化膜的固化性组合物、该固化膜的激光加工方法及多层布线结构体的制造方法。包含具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)的固化性组合物、对使该组合物固化而得的固化膜照射激光而除去该固化膜的...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

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