下载一种大行程的高精度微纳夹持器的技术资料

文档序号:10231345

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本发明公开了一种大行程的高精度微纳夹持器,特点是包括两根竖直设置的圆柱状的扭转臂,扭转臂的下端固定设置有基座,扭转臂的上端固定设置有水平设置的夹持臂,两根夹持臂相对设置且相平行,扭转臂上固定设置有压电扭转驱动器,夹持臂的侧面上固定设置有压电...
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