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分散有C粒子的Fe-Pt型溅射靶制造技术
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下载分散有C粒子的Fe-Pt型溅射靶的技术资料
文档序号:10222846
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一种磁记录膜用溅射靶,其特征在于,Pt为5摩尔%以上且60摩尔%以下,C为0.1摩尔%以上且40摩尔%以下,二氧化钛为0.05摩尔%以上且20摩尔%以下,其余由Fe构成。本发明的课题在于提供能够在不使用昂贵的同时溅射装置的情况下制作颗粒结构...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。
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