下载直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法的技术资料

文档序号:10221296

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本发明公开了一种直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法,是将洗净、干燥的针尖置PECVD真空腔室中,排尽腔室内空气,向腔室中填充保护气体,再将针尖加热至石墨烯生长温度,向腔室中通入碳源气体和起载流作用的保护气体,维持气压在石墨烯生长压强,设定射...
该专利属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院重庆绿色智能技术研究院授权不得商用。

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