下载一种制备六氟化硫的多室反应器及其使用方法的技术资料

文档序号:10219421

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本发明公开了一种制备六氟化硫的多室反应器及其使用方法,该多室反应器反应区分为上下两部分,下部为液相室,上部由隔板分割成至少两个反应室,隔板与多室反应器底部间留有通道,每个反应室设有氟气进口和六氟化硫出口,加料区通过隔板与多室反应器底部间的通...
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